光電所在高精度平面絕對檢測研究中取得新進展

　　中國科學院光電技術(shù)研究所先進光學研制中心在高精度平面絕對檢測研究中取得新進展：首次提出了一種通用的平面絕對檢測方法，該方法采用逆向迭代優(yōu)化算法求解絕對檢測模型，具有簡單、快速、準確求解絕對面形的優(yōu)勢。相關(guān)結(jié)果發(fā)表于近期的Optics Express。

　　在過去的數(shù)十年中，受空間光學、同步輻射裝置以及深紫外、極紫外光刻機等項目的驅(qū)動，高精度光學元件的需求日益增加。這些光學元件普遍要求光學面形檢測精度達到亞納米級（如0.1 nm RMS）的超高精度，并且要求實現(xiàn)像素分辨率的檢測。這給面形檢測提出了新的挑戰(zhàn)，使得高精度面形絕對檢測技術(shù)已成為國內(nèi)外的研究熱點和前沿核心技術(shù)。

　　該研究針對面形數(shù)據(jù)中的每個數(shù)據(jù)點進行迭代優(yōu)化求解，相對傳統(tǒng)澤尼克多項式擬合方法（低通濾波），可以實現(xiàn)像素分辨率的面形檢測，得到更多更全面的絕對面形數(shù)據(jù)。另外，研究提出的加速迭代算法可以大大降低計算成本和計算機內(nèi)存需求。

幾種迭代優(yōu)化算法迭代收斂速度對比