大型高精度衍射光柵刻劃系統(tǒng)通過驗收

　　記者從中科院長春光機所獲悉：由該所承擔(dān)的國家重大科研裝備研制項目“大型高精度衍射光柵刻劃系統(tǒng)的研制”11日通過驗收，并制造出世界最大面積中階梯光柵。這標(biāo)志著我國大面積高精度光柵制造中的相關(guān)技術(shù)達到國際領(lǐng)先水平，結(jié)束了在高精度大尺寸光柵制造領(lǐng)域受制于人的局面。

　　衍射光柵是一種納米精度周期性微結(jié)構(gòu)的精密光學(xué)元件，在光譜學(xué)、天文學(xué)、激光器、光通訊、信息存儲等領(lǐng)域中有重要應(yīng)用。光柵面積大可獲得高集光率和分辨本領(lǐng)，精度高可獲得更好的信噪比，但制造出大而精的光柵是世界性難題。

　　光柵刻劃機是制作光柵的母機，因其部件的加工裝調(diào)精度難，運行保障環(huán)境要求高，被譽為“精密機械之王”，本項目研制的光柵刻劃機，幾乎所有關(guān)鍵部件都沖擊世界極限水平。研制期間，科研人員突破了精密機械加工、精密光學(xué)加工、精密檢測、高精度微位移控制等一系列關(guān)鍵技術(shù)，并研制出面積達400毫米×500毫米、精度為10納米的光柵，這也是目前世界上面積最大的中階梯光柵。

　　此前，只有美國能夠制作300毫米以上中階梯光柵，我國的中階梯光柵制造能力不足300毫米，精度也達不到10納米精度水平，戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度大尺寸光柵受到國外嚴(yán)格限制。項目負(fù)責(zé)人、中科院長春光機所研究員唐玉國表示，大型高精度光柵刻劃系統(tǒng)以及大面積中階梯光柵的研制成功，能幫助我國光譜儀器行業(yè)擺脫“有器無心”局面，改變我國光譜儀器產(chǎn)業(yè)處于行業(yè)低端現(xiàn)狀。