極紫外光刻膠重大專項(xiàng)通過(guò)驗(yàn)收

　　5月24日，國(guó)家科技重大專項(xiàng)極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)項(xiàng)目 極紫外光刻膠材料與實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)技術(shù)通過(guò)驗(yàn)收。

　　該項(xiàng)目由中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所、中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所、北京科華微電子材料有限公司聯(lián)合承擔(dān)。經(jīng)過(guò)項(xiàng)目組全體成員的努力攻關(guān)，完成了EUV光刻膠關(guān)鍵材料的設(shè)計(jì)、制備、合成工藝、配方組成以及光刻膠制備、實(shí)驗(yàn)室光刻膠性能初步評(píng)價(jià)裝備的研發(fā)，達(dá)到了任務(wù)書(shū)中規(guī)定的材料和裝備的考核指標(biāo)。截止到目前，共獲得授權(quán)專利10項(xiàng)(包括國(guó)際專利授權(quán)3項(xiàng))。

　　與會(huì)專家對(duì)項(xiàng)目取得的研發(fā)成果給予了充分肯定。專家指出，開(kāi)展極紫外光刻膠的研發(fā)具有戰(zhàn)略眼光，經(jīng)過(guò)項(xiàng)目組成員幾年的努力，完成了研發(fā)任務(wù)，達(dá)到了項(xiàng)目任務(wù)書(shū)中規(guī)定的指標(biāo);建立了一支高檔光刻膠研發(fā)隊(duì)伍，為我國(guó)的半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供了人才支持。

　　課題承擔(dān)單位表示，我國(guó)高檔電子化學(xué)品的研發(fā)正處于高速發(fā)展期，該項(xiàng)目的完成將對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供重要保證，希望國(guó)家對(duì)高檔光刻膠的研發(fā)給予持續(xù)支持。

　　下圖為項(xiàng)目人員匯報(bào)項(xiàng)目總體情況。