數(shù)字式硅晶體載流子復(fù)合壽命測試儀/少子壽命測試儀(鑄造多晶)
型號:KDKLT-200 貨號:ZH8204
產(chǎn)品簡介:
100C型200型的的最大區(qū)別只是紅外激光管的功率大了一倍,加了個紅外地光照破除陷進(jìn)效應(yīng)
τ:1~6000μs ρ>0.1Ω·cm太陽能級硅片壽命,配已知壽命樣片、配數(shù)字示波器,
本設(shè)備是按照國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1553“硅單晶少數(shù)載流子壽命測定的高頻光電導(dǎo)衰減法”設(shè)計制造。高頻光電導(dǎo)衰減法在我國半導(dǎo)體集成電路、晶體管、整流器件、核探器行業(yè)已運(yùn)用了三十多年,積累了豐富的使用經(jīng)驗(yàn),經(jīng)過數(shù)次全國十多個單位巡回測試的考驗(yàn),證明是一種成熟可靠的測試方法,特別適合于硅塊、硅棒的少子體壽命測量;也可對硅片進(jìn)行測量,給出相對壽命值。方法本身對樣品表面的要求為研磨面,因此制樣特別簡便。
產(chǎn)品特點(diǎn):
可測量太陽能級多晶硅塊、單晶硅棒少數(shù)載流子體壽命。表面無需拋光,直接對切割面或研磨面進(jìn)行測量,儀器可按需方提供的有標(biāo)稱值的校準(zhǔn)樣品調(diào)試壽命值。
可測量太陽能級單晶及多晶硅片少數(shù)載流子的相對壽命,表面無需拋光、鈍化。
液晶屏上直接顯示少子壽命值,同時在線顯示光電導(dǎo)衰退波形。
配置的紅外光源:0.904~0.905μm波長紅外脈沖激光器,光穿透硅晶體深度較淺≈30μm,但光強(qiáng)較強(qiáng),有利于測量低阻太陽能級硅晶體少數(shù)載流子體壽命,脈沖功率30W。
專門為消除陷進(jìn)效應(yīng)增加了紅外低光照。
測量范圍寬廣
測試儀可直接測量:
a、研磨或切割面:電阻率≥0.5Ω?cm的單晶硅棒、定向結(jié)晶多晶硅塊少子體壽命,切割片的少子相對壽命。
b、拋光面:電阻率在0.5~0.01Ω?cm范圍內(nèi)的硅單晶、鍺單晶拋光片。
范 圍:0.5μs~6000μs
電 阻 率:ρ﹥0.1Ω·cm(非回爐料)
測試速度:1分鐘/片
紅外光源波長: 0.904~0.905μm
高頻振蕩源:用石英諧振器,振蕩頻率:30MHZ
前置放大器,放大倍數(shù)約25,頻寬2HZ-2MHZ
可測單晶尺寸:斷面豎測:
直徑25mm-150mm;厚度2mm-500mm
縱向臥測:直徑5mm-20mm;長度50mm-200mm
測量方式:采用數(shù)字示波器直接讀數(shù)方式
測試分辨率:專用數(shù)字存儲示波器最小分辨率0.01μs
設(shè)備重量:20 Kg
儀器電源:電源電壓類型:單相210~230V,50Hz,帶電源隔離、濾波、穩(wěn)壓,不能與未做保護(hù)措施的大功率、高頻設(shè)備共用電源。
標(biāo)簽:
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