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薄膜沉積控制儀需要進(jìn)行哪些保養(yǎng)工作

作者： 2019年04月29日 來(lái)源：全球化工設(shè)備網(wǎng) 瀏覽量：
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薄膜沉積控制儀在模塊化的基礎(chǔ)上建立了溫度測(cè)量薄膜控制系統(tǒng)，可以支持?jǐn)U展4個(gè)輸入輸出口和探頭，實(shí)時(shí)的頻率-溫度曲線(xiàn)和500℃操作晶體。該儀器設(shè)有快速設(shè)定菜單、6個(gè)區(qū)分上下文按鈕以及一個(gè)簡(jiǎn)便的參數(shù)設(shè)定旋鈕，易于
　　薄膜沉積控制儀在模塊化的基礎(chǔ)上建立了溫度測(cè)量薄膜控制系統(tǒng)，可以支持?jǐn)U展4個(gè)輸入輸出口和探頭，實(shí)時(shí)的頻率-溫度曲線(xiàn)和500℃操作晶體。該儀器設(shè)有快速設(shè)定菜單、6個(gè)區(qū)分上下文按鈕以及一個(gè)簡(jiǎn)便的參數(shù)設(shè)定旋鈕，易于設(shè)定和操作，用于開(kāi)發(fā)、測(cè)試和下載過(guò)程的程序，以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到PC進(jìn)行過(guò)程分析與質(zhì)量控制的程序的過(guò)程控制，尤其適用于低沉積速率，測(cè)量速率為每秒10個(gè)讀數(shù)，存儲(chǔ)容量可達(dá)100個(gè)過(guò)程、1000層薄膜、50種薄膜材料。
　　操作溫度超過(guò)1600F/710C時(shí)，不能進(jìn)行測(cè)量，否則要損壞儀器，當(dāng)環(huán)境溫度低于00C時(shí),PH電極可能會(huì)損壞，千萬(wàn)注意,不要超出規(guī)定溫度范圍，把儀器存放在熱源附近或在天氣炎熱的情況下，溫度很容易達(dá)到或超過(guò)1500F，這將導(dǎo)致儀器測(cè)量不準(zhǔn)。
　　電極更換電極型號(hào)，確認(rèn)薄膜沉積控制儀型號(hào)和序列號(hào)，以確保選擇正確的電極型號(hào)，每臺(tái)儀器都配有相應(yīng)的電極型號(hào)。
　　電極清洗電導(dǎo)/TDS/電阻電導(dǎo)池盡可能保持干凈，用足量干凈水沖洗電極池可防止雜物聚集在電極上，但是很贓的溶液尤其是含鱗狀顆粒的溶液，很容易在電池中沉淀形成薄膜，這降低了測(cè)試的精確度，一旦形成油膜或有臟物沉積在電極上，就用普通的無(wú)腐蝕清洗劑清洗，并用清水潤(rùn)洗干凈，就可以準(zhǔn)確測(cè)試了。
　　電池的更換：擦干儀器表面，擰開(kāi)后面四顆螺絲，小心打開(kāi)后蓋，移走后蓋，把電池取下，并換上新的9V堿性電池，蓋上后蓋，擰緊螺絲。因?yàn)橐寻惭b了不可擦除可讀存儲(chǔ)器，即使電源斷電或更換電池的過(guò)程中，存儲(chǔ)在記憶器中的記錄數(shù)據(jù)和校正更改設(shè)置并不會(huì)消失。
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