近日,東旭光電與英國(guó)曼徹斯特大學(xué)的科研人員合作,研發(fā)出懸浮石墨烯傳感芯片產(chǎn)品。
據(jù)該產(chǎn)品的研究人員介紹,懸浮石墨烯傳感芯片技術(shù)為化學(xué)氣相沉積法石墨烯薄膜“分布”創(chuàng)造了獨(dú)特的解決辦法,使石墨烯能更好發(fā)揮其電學(xué)和力學(xué)性能。懸浮石墨烯傳感芯片技術(shù)在力學(xué)、溫度、濕度檢測(cè)以及傳感等領(lǐng)域?qū)⒂袕V闊的應(yīng)用前景。
化學(xué)氣相沉積法生產(chǎn)石墨烯是將碳原子沉積在特定基體上的一種生產(chǎn)單層石墨烯方法,但其具有轉(zhuǎn)移步驟成本高,導(dǎo)電率低的缺點(diǎn)。硅晶圓懸浮石墨烯技術(shù)是通過(guò)傳統(tǒng)半導(dǎo)體工藝,形成上表面為單層石墨烯薄膜的懸浮腔體陣列,*終形成硅晶圓表面的懸浮石墨烯陣列。
標(biāo)簽:東旭光電 英國(guó)曼徹斯特大學(xué)
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