微納制造技術(shù)作為MEMS傳感器的實(shí)現(xiàn)手段,它直接決定了傳感器的性能與制作成本,是傳感器可產(chǎn)品化和批量化制造的前提。隨著MEMS微納制造技術(shù)的不斷進(jìn)步,MEMS傳感器在航空航天、生化醫(yī)療、食品安全等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用,特別是近幾年來(lái)伴隨著汽車電子產(chǎn)品和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,市場(chǎng)對(duì)不同類型和功能的MEMS傳感器需求量越來(lái)越大。
落成儀式現(xiàn)場(chǎng),資料圖
11月25日,湖南先進(jìn)傳感與信息技術(shù)創(chuàng)新研究院核心實(shí)驗(yàn)室,在湘潭大學(xué)正式落成。據(jù)悉,這是國(guó)內(nèi)具有領(lǐng)先水平的微納器件加工實(shí)驗(yàn)室。而湖南先進(jìn)傳感與信息技術(shù)創(chuàng)新研究院,則是湖南省人民政府支持,投資1億元,由北京大學(xué)與湘潭大學(xué)合作共建,設(shè)立在湘潭大學(xué)的新型研發(fā)平臺(tái)。
在落成儀式上,擔(dān)任該研究院院長(zhǎng)的中科院院士、北京大學(xué)教授彭練矛表示,該實(shí)驗(yàn)室包括百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)在內(nèi)的核心超凈室1400平方米,及價(jià)值兩千余萬(wàn)元的微納加工
裝備。這為將來(lái)研究院成為全國(guó)乃至國(guó)際領(lǐng)先的傳感技術(shù)發(fā)源地打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
未來(lái),物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展將把包括人在內(nèi)的萬(wàn)物都聯(lián)系起來(lái),其中最為核心的技術(shù)就是先進(jìn)傳感和信息處理技術(shù)。
據(jù)了解,彭練矛院士團(tuán)隊(duì)在碳基集成電路與納米器件研究領(lǐng)域處于國(guó)際前沿,其研究成果對(duì)于用碳納米管材料替代硅基材料制造電子產(chǎn)品芯片,從而突破傳統(tǒng)硅基材料物理極限,具有顛覆性意義,產(chǎn)業(yè)化前景巨大。
實(shí)驗(yàn)室內(nèi)景,資料圖
研究院將依托彭練矛院士團(tuán)隊(duì)的先導(dǎo)性技術(shù)優(yōu)勢(shì),建成碳基納米器件和新型傳感器研究的國(guó)內(nèi)創(chuàng)新平臺(tái),基于平臺(tái),也有望研發(fā)出屬于我國(guó)自己的“中國(guó)芯”,形成一批具有國(guó)際影響的重大原始創(chuàng)新成果,并探索推動(dòng)其在可穿戴電子產(chǎn)品、工業(yè)控制、人工智能、健康監(jiān)測(cè)和醫(yī)療以及物聯(lián)網(wǎng)等的應(yīng)用。
據(jù)介紹,此次落成的核心實(shí)驗(yàn)室,即微納傳感器加工實(shí)驗(yàn)室,包括百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)在內(nèi)的超凈室約1500平方米,和一批先進(jìn)的微納加工設(shè)備。超凈室最主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)。
為推動(dòng)湖南先進(jìn)傳感與信息技術(shù)創(chuàng)新研究院建設(shè),省科技廳將其列為了長(zhǎng)株潭國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū)重大標(biāo)志性工程。目前,該研究院已引進(jìn)包括中國(guó)科學(xué)院院士、國(guó)家優(yōu)青等一批高端人才,招收了20余名博士、碩士研究生培養(yǎng)并開展科研,發(fā)表了20余篇較高水平的學(xué)術(shù)論文。
另外,該研究院還積極與企業(yè)進(jìn)行了接洽,計(jì)劃在傳感器應(yīng)用方面,與華為、京東方、旭海光電、中電集團(tuán)等龍頭企業(yè)開展產(chǎn)學(xué)研合作,將基礎(chǔ)研究成果盡快推向市場(chǎng)。