塵埃粒子計(jì)數(shù)器在潔凈室領(lǐng)域中的檢測應(yīng)用
潔凈室(cleanroom)這個(gè)名詞和概念源于18世紀(jì)六十年代的歐洲醫(yī)學(xué),當(dāng)時(shí)的理解僅限于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng)部感染率的處置室、手術(shù)室這類滅菌處理的工作環(huán)境。現(xiàn)代潔凈室雖然延用了這個(gè)名詞,但在定義和內(nèi)涵上都與原有的概念有根本的不同,現(xiàn)代潔凈室形成一項(xiàng)專門技術(shù),其歷史不過只有半個(gè)世紀(jì)。隨著科技的發(fā)展?jié)崈艏夹g(shù)(cleanroom)是適應(yīng)實(shí)驗(yàn)研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術(shù)。 本文主要從潔凈室的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)、領(lǐng)域劃分、等級(jí)要求幾個(gè)方面講述粒子計(jì)數(shù)器在潔凈室的檢測作用。
潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644一樣,都是根據(jù)懸浮粒子濃度這個(gè)WAI一指標(biāo)來劃分潔凈室(區(qū))及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級(jí),并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群。根據(jù)粒子徑,可以劃分為常規(guī)粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
ISO/DIS 14644-1 潔凈室和潔凈區(qū)按空氣中懸浮粒子濃度的分級(jí)
潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)
潔凈室的領(lǐng)域劃分
潔凈室的劃分是以單位體積內(nèi)所含灰塵數(shù)來計(jì)算的,數(shù)目越小表示潔凈等級(jí)越高,一般每一級(jí)的劃分都有不同直徑灰塵數(shù)的要求,比如一般藥廠、汽車4s店,十萬級(jí)或萬級(jí)就夠了,但這對電子行業(yè)(尤其是微電子行業(yè))僅僅是低要求,比如半導(dǎo)體行業(yè)等級(jí)要求低的測試間一般都不能高于1萬級(jí)。下面我們通過工業(yè)無塵室詳細(xì)了解一下。
依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn),可將無塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),如果無塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5µm,例如,1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)無塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆。并且通過FS209E標(biāo)準(zhǔn)劃分,每立方英尺里面允許含有最多的0.5微米塵埃粒子的數(shù)量就是潔凈室的等級(jí),比如每立方英尺允許含有最多1000個(gè)0.5微米的例子,那么這個(gè)潔凈室就是千級(jí),如果是10000個(gè)粒子就是萬級(jí),總共是從一級(jí),十級(jí),百級(jí),千級(jí),萬級(jí)到bai wan級(jí);工業(yè)無塵室主要控制無生命微粒對工作對象的污染,其內(nèi)部一般保持正壓,它適用于精密工業(yè)、電子工業(yè)、航天工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、印刷工業(yè)等部門。工業(yè)無塵車間只要控制參數(shù)是溫度、濕度、風(fēng)速、流場、潔凈度。因此為了滿足凈化車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,300平方米的車間,高度為2.5米,如果是萬級(jí),就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)是≥25次/h);如果是十萬級(jí),送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h(換氣次數(shù)是≥15次/h)。此外為保持無塵室的潔凈度,進(jìn)出的人員有一定的穿著規(guī)定;10000與100000級(jí),必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩;1000級(jí)(含)以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,并帶上手套和面罩。所以每間潔凈室都配有高效空氣顆粒物 (HEPA) 過濾器,防止空氣傳播生物與病毒生物的傳播。過濾器還采用了正壓設(shè)計(jì),將未過濾的空氣隔離在房間外部,同時(shí)風(fēng)淋室可在工作人員與產(chǎn)品進(jìn)入房間前去除沾染的顆粒物。潔凈室的審核維護(hù)流程包括對微生物的計(jì)數(shù),確保符合潔凈度和生物負(fù)載水平的要求。
ISO等級(jí)序數(shù)(N) | 大于等于表中被考慮粒徑的粒子最大允許濃度(個(gè)/立方米) | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
1 | 10b | d | d | d | d | e |
2 | 100 | 24b | 10b | d | d | e |
3 | 1,000 | 237 | 102 | 35b | d | e |
4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83b | e |
5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | d,e,f |
6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
7 | c | c | c | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
8 | c | c | c | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
9g | c | c | c | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
潔凈室等級(jí)要求
為保證潔凈室及相關(guān)環(huán)境達(dá)到受控標(biāo)準(zhǔn),對其基本的空氣熱濕處理設(shè)備、空氣凈化設(shè)備、空氣動(dòng)力設(shè)備、空氣分布系統(tǒng)、冷熱源設(shè)備、高效送風(fēng)口、凈化工作臺(tái)、潔凈單元、風(fēng)淋室、傳遞窗及微環(huán)境以及潔凈服、潔凈手套、口罩、清潔用品等也有特殊要求。但是在潔凈度標(biāo)準(zhǔn)方面并沒有說明潔凈室的物理特性、化學(xué)特性、放射特性或懸浮粒子的特性。
眾所周知粉塵檢測儀和粒子計(jì)數(shù)器雖然都可以用光散射法原理,但是粒子計(jì)數(shù)器是用于潔凈室里,而粉塵儀主要是用來測大氣環(huán)境。為什么會(huì)這樣呢?我們可以通過兩種光散射的原理來判斷。粉塵檢測儀通過采氣泵將待測氣溶膠吸入檢測艙,待測氣溶膠在分支處分流成為兩部分,一部分經(jīng)過一個(gè)高效過濾器后被過濾為干凈的空氣,作為保護(hù)鞘氣來保護(hù)傳感器室的元器件不受待測氣體污染。另一部分氣溶膠,作為待測樣品直接進(jìn)入傳感器室。傳感器室中,主要元器件為激光二極管、透鏡組和光電檢測器。檢測時(shí),首先由激光二極管發(fā)出的激光,通過透鏡組形成一個(gè)薄層面光源。薄層光照射在流經(jīng)傳感器室的待測氣溶膠時(shí),會(huì)產(chǎn)生散射,通過光電探測器來檢測光的散射光強(qiáng)。光電探測器受光照之后產(chǎn)生電信號(hào),正比于氣溶膠的質(zhì)量濃度。然后乘以電壓校準(zhǔn)系數(shù),這個(gè)系數(shù)通過測定特定濃度的氣溶膠來得到。通常用來做標(biāo)定的測試氣溶膠是亞利桑那試驗(yàn)粉塵(或ISO12103-1,A1試驗(yàn)粉塵)。
粒子計(jì)數(shù)器原理:粒子計(jì)數(shù)器通過采樣泵抽取采樣氣體,在激光室中,通過激光照射采樣氣體,顆粒反射出來的閃光的頻率,代表顆粒的數(shù)量,反射的光強(qiáng),代表顆粒的粒徑大小,激光室中的元器件,沒有鞘氣保護(hù)。
附表1:新版GMP規(guī)定的潔凈度
潔凈度級(jí)別 | 懸浮粒子最大允許數(shù)/立方米 | |||
靜態(tài) | 動(dòng)態(tài) | |||
≥0.5μm | ≥5.0μm | ≥0.5μm | ≥5.0μm | |
A級(jí) | 3520 | 20 | 3520 | 20 |
B級(jí) | 3520 | 29 | 352000 | 2900 |
C級(jí) | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 |
D級(jí) | 3520000 | 29000 | 不作規(guī)定 | 不作規(guī)定 |
附表2:EU GMP空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn) | |||||
潔凈度級(jí)別 | 懸浮粒子最大允許數(shù)/立方米 | ||||
靜態(tài) | 動(dòng)態(tài) | ||||
≥0.5um | ≥5.0um | ≥0.5um | ≥5.0um | ||
A級(jí) | 3520 | 20 | 3520 | 20 | |
B級(jí) | 3520 | 29 | 352000 | 2900 | |
C級(jí) | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 | |
D級(jí) | 3520000 | 29000 | 不作規(guī)定 | 不作規(guī)定 |
標(biāo)簽:
相關(guān)技術(shù)