在自然界中,當(dāng)物體的溫度高于絕對(duì)零度時(shí),由于它內(nèi)部熱運(yùn)動(dòng)的存在,就會(huì)不斷地向四周輻射電磁波,其中就包含了波段位于0.75~100μm 的紅外線,紅外溫度傳感器就是利用這一原理制作而成的。
溫度是度量物體冷熱程度的一個(gè)物理量,是工業(yè)生產(chǎn)中很普遍、很重要的一個(gè)熱工參數(shù),許多生產(chǎn)工藝過程均要求對(duì)溫度進(jìn)行監(jiān)視和控制,特別是在化工、食品等行業(yè)生產(chǎn)過程中,溫度的測量和控制直接影響到產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
而紅外熱電堆傳感器是由熱電偶構(gòu)成的一種器件,其直接感應(yīng)紅外輻射,并通過塞貝克效應(yīng)將紅外輻射導(dǎo)致的溫度變化轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)輸出。
熱傳感器是利用輻射熱效應(yīng),使探測器件接收輻射能后引起溫度升高,進(jìn)而使傳感器中一欄與溫度的性能發(fā)生變化。檢測其中某一性能的變化,便可探測出輻射。
和其它類型紅外傳感器相比,紅外熱電堆傳感器可以在動(dòng)態(tài)、靜態(tài)環(huán)境下工作,封裝后受測試環(huán)境影響小,不需要額外的補(bǔ)償算法處理,無需偏置且后續(xù)電路簡單等優(yōu)點(diǎn)。
傳統(tǒng)紅外熱電堆傳感器芯片由于制造工藝復(fù)雜、不適合批量制造,使得發(fā)展一直非常緩慢。隨著近年來MEMS加工技術(shù)的快速發(fā)展與進(jìn)步,基于MEMS技術(shù)的紅外熱電堆傳感器芯片也獲得了飛速發(fā)展。紅外熱電堆傳感器一般采用硅基微加工工藝制造,其產(chǎn)業(yè)鏈包括芯片設(shè)計(jì)、制造、封測、系統(tǒng)集成和終端應(yīng)用等。
與傳統(tǒng)的紅外熱電堆傳感器相比,基于MEMS技術(shù)的紅外熱電堆傳感器具有尺寸小、重量輕、噪聲小、成本低、使用方便等優(yōu)點(diǎn),因此MEMS紅外熱電堆傳感器在性能與成本方面能夠較好的兼顧民用消費(fèi)領(lǐng)域的需求,在健康醫(yī)療、安防監(jiān)控、智能家居、消費(fèi)電子、工業(yè)控制等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。
2020年初,受突發(fā)疫情影響,非接觸式紅外體溫監(jiān)測儀器作為疫情防控初步篩檢手段,市場需求快速增長。國內(nèi)以額溫槍為主的非接觸式測溫設(shè)備市場需求大增,紅外熱電堆傳感器作為關(guān)鍵部件需求同步上升,熱電堆傳感器上半年呈量價(jià)齊升態(tài)勢。受疫情期間紅外熱電堆產(chǎn)品的廣泛普及影響,其眾多優(yōu)點(diǎn)得到市場的廣泛認(rèn)同,未來在眾多新興領(lǐng)域?qū)⒌玫綇V泛應(yīng)用。
根據(jù)中金企信統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),全球市場熱電堆紅外傳感器消費(fèi)量持續(xù)增長,2020年受疫情影響,全球消費(fèi)量達(dá)到3.22億只,加速了紅外熱電堆技術(shù)的普及,2015-2026年的復(fù)合增長率達(dá)到11.08%。
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