川本恒溫恒壓冷凍機(jī)控制系統(tǒng)在MOCVD半導(dǎo)體芯片設(shè)備的應(yīng)用

一、 系統(tǒng)參數(shù)

       爭(zhēng)對(duì)深圳一生產(chǎn)LED芯片廠家的現(xiàn)狀，現(xiàn)車間有5臺(tái)MOCVD機(jī)、高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測(cè)試機(jī)各1臺(tái)，根據(jù)客戶需要進(jìn)行恒溫恒壓供水設(shè)計(jì)。

       初步設(shè)計(jì)5臺(tái)MOCVD機(jī)分別由2臺(tái)40HP和1臺(tái)20HP制冷系統(tǒng)分別對(duì)其進(jìn)行恒溫恒壓供水，高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測(cè)試機(jī)1臺(tái)的供水由1臺(tái)15HP制冷系統(tǒng)進(jìn)行恒溫恒壓供水，依據(jù)參數(shù)設(shè)計(jì)如下表：

 二、變頻恒壓供水特點(diǎn):
    1、恒壓供水能自動(dòng)24小時(shí)維持恒定壓力，并根據(jù)壓力信號(hào)自動(dòng)啟動(dòng)備用泵，無級(jí)調(diào)整壓力，供水質(zhì)量好，與傳統(tǒng)供水比較，不會(huì)造成管網(wǎng)破裂及水龍頭共振現(xiàn)象。
    2、動(dòng)平滑，減少電機(jī)水泵的沖擊，延長(zhǎng)了電機(jī)及水泵的使用壽命，避免了傳統(tǒng)供水中的水錘現(xiàn)象。
    3、采用變頻恒壓供水保護(hù)功能齊全，運(yùn)行可靠，具有欠壓、過壓、過流、過熱等保護(hù)功能。
    4、系統(tǒng)配置可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)定時(shí)供水,徹底實(shí)現(xiàn)無人值守自動(dòng)供水.控制系統(tǒng)具有故障報(bào)警和顯示功能,并可進(jìn)行工變頻轉(zhuǎn)換,應(yīng)急供水。
    5、系統(tǒng)根據(jù)用戶用水量的變化來調(diào)節(jié)水泵轉(zhuǎn)速，使水泵始終工作在高效區(qū)，當(dāng)系統(tǒng)零