ALICAT抗腐蝕型氣體質(zhì)量流量計/控制器的簡單介紹Alicat的21S系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測控場合。ALICAT抗腐蝕型氣體質(zhì)量流量計/控制器的詳細信息:產(chǎn)品描述::
美國ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補償型層流壓差專利技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。 Alicat的21S系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測控場合。 產(chǎn)品特點 : ● 數(shù)字化產(chǎn)品 技術(shù)參數(shù) : 介質(zhì)要求:潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可 介質(zhì)種類:內(nèi)置了130種氣體,請咨詢 一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇 量程:從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM(詳情請咨詢) 量程比:100:1 最大顯示流量:102.4%FS 顯示屏:同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度 精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程 高精度:±(0.4%Rd + 0.2%FS),選配 僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備 重復性:± 0.2% FS 零點漂移&滿量程漂移:0.02% F.S / oC / Atm 預熱時間:<1s 響應(yīng)時間:100ms 標定工況:25oC & 100kPa 絕壓、20oC & 100kPa 絕壓、0oC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換) 工作溫度:-10 ~ +50 oC 工作濕度:0-100%,無冷凝 標準最大工作壓力:1MPa 表壓 標準極限耐壓:1.2MPa 表壓 中壓選項:2MPa 數(shù)字輸入/輸出信號:RS232、RS485、Modbus、Profibus* 模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA 供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc) 供電電流:250mA ~ 750mA 電氣接口:8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業(yè)接頭 材質(zhì):316L不銹鋼、303不銹鋼,
430FRSS, FFKM (Kalrez) 可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene 防護等級:IP40 * 如選Profibus,則無模擬信號,無顯示,其供電電壓及 供電電流需咨詢我們 應(yīng)用及案例 : ● 大學/研究所
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