激光共聚焦顯微鏡
激光共聚焦顯微鏡在膜厚三維形貌測(cè)量中是如何提高工作效率的?(2019-05-16)
需要在高度方向上做掃描,得到一系列的切片圖,然后進(jìn)行圖像疊加并得到三維圖像,從而提高景深范圍。相對(duì)于傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡,激光共聚焦顯微鏡其橫向分辨率提高40%以上,優(yōu)秀可達(dá)120nm。激光共聚焦顯…[詳情]
三維激光共聚焦顯微鏡精確數(shù)字化描述(2019-05-10)
常用的磨損表面形貌觀察手段有體視顯微鏡、掃描電鏡,但不具備表面形貌特征的數(shù)字化描述功能;常用的粗糙度測(cè)量手段有干涉儀、粗糙度儀等,但是不能對(duì)磨損表面形貌進(jìn)行觀察。先進(jìn)的磨損表面形貌分析、…[詳情]
采用激光共聚焦顯微鏡可以獲取媲美SEM的顯微圖像(2019-03-25)
激光共聚焦顯微鏡可用來觀察樣品表面亞微米級(jí)別的三維輪廓形貌,也可以測(cè)量多種微幾何尺寸,像晶粒度、體積、膜深、膜厚、深度、長(zhǎng)寬、線粗糙度、面粗糙度等。激光共聚焦相比于其他測(cè)量手段有其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)…[詳情]