1、擴(kuò)散硅壓力傳感器
擴(kuò)散硅壓力傳感器其工作原理是被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測量信號。
2、應(yīng)變片(力學(xué))壓力傳感器
力學(xué)傳感器的種類繁多,如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、高溫壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)高溫壓力變送器變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓 力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應(yīng)用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。
3、藍(lán)寶石壓力傳感器
利用應(yīng)變電阻式工作原理,采用硅- 藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,具有無與倫比的計量特性。藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象;藍(lán)寶石比硅要堅固,硬度更高,不怕 形變;藍(lán)寶石有著非常好的彈性和絕緣特性(1000 OC 以內(nèi)),因此,利用硅- 藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍(lán)寶石的抗輻射特性極強(qiáng);另外,硅- 藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件,無防爆壓力變送器p-n 漂移,因此,從根本上簡化了制造工藝,提高了重復(fù)性,確保了高成品率。用硅- 藍(lán)
寶石半導(dǎo)體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在最惡劣的工作條件下正常工作,并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、性價比高。
4、陶瓷壓力傳感器
抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個惠斯通電橋 (閉橋),由于
壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生一個與壓力成正比的高度線性、與激隔爆溫度變送器勵電壓也成正比的電壓信號,標(biāo)準(zhǔn)的信號根據(jù)壓力量程的不同 標(biāo)定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可
以和應(yīng)變式傳感器相兼容。通過激光標(biāo)定,傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時間穩(wěn)定性,傳感器自帶溫度補(bǔ)償0 ~70℃,并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。
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