真空泵的選型

真空泵選型
    真空的獲得，是借肋真空泵來實現(xiàn)的。不同種類的泵，它有著一定工作條件和范圍，在選擇真空泵時，應(yīng)充分考慮到它的特性和規(guī)格，并從所設(shè)計系統(tǒng)的以下四個條件出發(fā)。
    (1)被抽真空容器的體積(包括管路)及生產(chǎn)率要求。
    (2)所要求的真空度。
    (3)抽出氣體的種類。
    (4)工作期間工件和系統(tǒng)的放氣盤和漏氣。
    目前在我國電子工業(yè)生產(chǎn)中，常用的真空泵的基本類型主要是機械泵和油擴散泵(有時加冷凝阱)?，F(xiàn)僅就這兩種類型真空泵(金屬的)的選擇問題簡介如下。
    機械泵工作的基本原理是利用轉(zhuǎn)子，將機械泵的工作空間周期性的壓縮和膨脹，從而排出容器中的氣體(經(jīng)導(dǎo)管流入機械泵中的)。
    機械泵按結(jié)構(gòu)特征可分為旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、多片式直空泵和雙轉(zhuǎn)子真空泵(羅茨泵)等。
    目前在我國電子工業(yè)生產(chǎn)中，應(yīng)用較多的是旋片式真空泵。大路通給出了旋片式真空泵之一的結(jié)構(gòu)。
    我國目前常用的機械泵的規(guī)格
    機械泵工作性能的好壞，受很多因素的形響，如結(jié)構(gòu)形狀、加工梢度、機械泵油的性能、工作環(huán)境、被抽氣體種類和機件磨損情況等。目前雖然有人在理論上從泵的有害空間、氣密性、極限壓強、抽氣速率和壽命等方面分析后，認為滑閥式最好，定片式次之，但是尚未提供有力的證據(jù)。
    機城真空泵目前一般已能達到5x10^一5 X10^-1毫米水銀柱左右，再高的真空度要求，單單靠一個機械泵是滿足不了的，還必須采用擴散泵(當(dāng)真空度要求達10^-6~10^-7毫米水銀柱以上時，還需加用其他真空獲得的部件)來繼續(xù)完成機械泵所不能達到的真空度。

    大路通(www.dg3q.com)給出了旋片式真空泵之一的結(jié)構(gòu):產(chǎn)品結(jié)構(gòu)及工作原理：

                                                 

  單級旋片式真空泵更加詳細的產(chǎn)品介結(jié)技術(shù)參數(shù)說明：旋片式真空泵