等離子表面處理機(jī)的簡單介紹
該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉體,容積為2升,結(jié)構(gòu)為國際上的通用的真空石英法蘭密封結(jié)構(gòu)。采用了新型的外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。
等離子表面處理機(jī)的詳細(xì)信息
KT-S2DQX 性能參數(shù) 供電電源 | AC220V(AC110V可選) | 工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) | 控制方式 | 觸摸屏控制 | 射頻電源功率 | 150W(可調(diào)) | 射頻頻率 | 13.56MHz | 頻率偏移量 | <0.2MHz | 特性阻抗 | 50歐姆,手動匹配 | 耦合方式 | 電容耦合式 | 真空度 | ≤100Pa | 腔體材質(zhì) | 高純石英 | 腔體容積 | 2.2L(內(nèi)徑110MMX深度240MM) | 觀察窗內(nèi)徑 | Φ45 | 氣體流量 | 6-60 ml/min 10—100ml/min(其他量程可選) | 過程控制 | 手動設(shè)定,自動控制 | 清洗時(shí)間 | 手動設(shè)定,自動啟停 | 開蓋方式 | 鉸鏈側(cè)開式法蘭 | 氣體路數(shù) | 2路質(zhì)量流量計(jì) | 可通入氣體 | 氬氣、氧氣、氮?dú)?、空氣、?/font>+氮?dú)?/font>(混合氣體)等
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