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真空探針臺

真空探針臺

產(chǎn)地:河南鄭州

規(guī)格:臺

公司所在地:河南鄭州

電話:15136405012

1741240035  
詳細信息

真空探針臺的簡單介紹

可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析,如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封

真空探針臺的詳細信息

溫真空探針臺KT-Z1604TZ

真空探針臺可實現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學性能測量,真空腔一體成型,具有設計合理,真空度穩(wěn)定,溫控精度及機械精度高等特點;根據(jù)測試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到400℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至-190,;真空系統(tǒng)可選機械泵或分子泵系統(tǒng),真空度可達到10-3Torr10-6Tor。

高低溫真空探針臺應用:

可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析,如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LEDLCD/OLED、LD/PDPCB、FPC等生產(chǎn)制造領域。

溫真空探針臺KT-Z1604TZ參數(shù)

真空腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

加熱臺材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

190~400℃

加熱臺溫控誤差

±1℃

真空度

機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動行程

13mm ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5

工作間距

90mm

相機

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

顯示屏

8

放大倍數(shù)

19-135,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm


以上是真空探針臺的詳細信息,如果您對真空探針臺的價格、廠家、型號、圖片有任何疑問,請聯(lián)系我們獲取真空探針臺的最新信息

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