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微型真空探針臺 氣敏光學電信息測試的簡單介紹
微型真空探針臺是一種用于測試光學電信號的設(shè)備，它具有體積小、重量輕、操作簡便、可重復使用等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于半導體、太陽能等領(lǐng)域
微型真空探針臺 氣敏光學電信息測試的詳細信息
微型真空探針臺是一種用于測試光學電信號的設(shè)備，它具有體積小、重量輕、操作簡便、可重復使用等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于半導體、太陽能等領(lǐng)域。本文將詳細介紹微型真空探針臺的結(jié)構(gòu)、工作原理、操作方法以及應(yīng)用領(lǐng)域。技術(shù)參數(shù)； 真空腔體 | 類型 | 高溫型室溫到400℃ KT-Z165M4RT | 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | 腔體內(nèi)尺寸 | 135mmX57mmX21mm 容積165ML | 腔體重量 | 約2KG | 腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | 腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | 腔體進氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 | 腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | 腔體水冷接口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | 腔體正壓 | ≤0.05MPa | 腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | 樣品臺 | 樣品臺材質(zhì) | 不銹鋼 | 樣品臺尺寸 | 30x30mm | 樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 樣品臺-視窗 距離 | 10mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | 樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | 樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 樣品臺測溫誤差 | ±0.2℃ | 樣品臺升溫速率 | 高溫20℃/min 最大值 低溫7℃/min | 溫控儀 | 溫度顯示 | 7寸人機界面 | 溫控類型 | 標準PID溫控 +自整定 | 溫度分辨率 | 0.1℃ | 溫控精度 | ±0.2℃ | 溫度信號輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | 溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數(shù)接口 | 溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | 溫控器重量 | 約5.6KG | 探針 | 電信號接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 選其一 線長1.2米 | 電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | 探針數(shù)量 | 4探針（可擴展6探針） | 探針材質(zhì) | 鎢合金探針 （其他材質(zhì)可選） | 探針尖 | 50μm （其他規(guī)格可選） | 手動探針移動平臺 | X軸移動行程 | 15mm ±7.5mm（需手動推動滑臺） | X軸控制精度 | ≥500μm | R軸移動行程 | 120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿） | R軸控制精度 | ≥500μm | Z軸移動行程 | 2mm ±1mm | Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿） |
微型真空探針臺主要由針頭、真空室、控制系統(tǒng)和測量系統(tǒng)等組成。針頭是探針臺的核心部件，它由一組金屬針組成，可以實現(xiàn)對樣品的精確測量。真空室是用于放置樣品的容器，它必須能夠保持高真空狀態(tài)，以確保測試的準確性。控制系統(tǒng)用于控制探針臺的各項操作，包括針頭的移動和樣品的放置等。測量系統(tǒng)則用于測試樣品的性能，包括光學和電學性能等
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