真空腔體 |
類(lèi)型 | 高溫型 室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
腔體內(nèi)尺寸 | Φ88mmX59mm |
腔體外尺寸 | Φ112X65mm |
腔體重量 | 約2.6KG |
腔體上視窗尺寸 | Φ47mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離) |
腔體抽氣口 | 可擴(kuò)展KF16法蘭 KF25法蘭 |
腔體真空測(cè)量口 | KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接) |
腔體進(jìn)氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 硅膠薄膜液體注射口 氣管接頭可選 |
腔體電接口 | 5KV高壓電極,10KV高壓電極,4芯8A氣密封信號(hào)接口,8芯4A氣密封信號(hào)接口, |
腔體正壓 | ≤0.1MPa |
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘) |
制冷接口 | 無(wú) | 3mm液氮管道 |
樣品臺(tái) |
樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 |
樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm |
樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 |
樣品臺(tái)-視窗 距離 | 48mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離) |
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | PT100型鉑電阻 |
樣品臺(tái)溫度 | 高溫型 室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.5℃ |
樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫50℃/min 最大值 |
溫控儀 |
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 |
溫控類(lèi)型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 30段編程控溫 |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫度信號(hào)輸入類(lèi)型 | PT100鉑電阻(可選熱電阻 K S B型熱電偶) |
溫控輸出 | 直流線(xiàn)性電源加熱 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線(xiàn)+歷史溫度曲線(xiàn) 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm |