成都真空設(shè)備廠家 surpass大口徑干法刻蝕機裝備 大口徑 高均勻性特殊微納結(jié)構(gòu) 基片刻蝕 可定制的簡單介紹

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●Surpass系列 干法刻蝕機，特別適合于大口徑、高均勻性和有特殊微納結(jié)構(gòu)的基片刻蝕，刻蝕尺寸可達φ2500mm，通過高密度等離子體及離子濃度修正系統(tǒng)，可達到基片有效刻蝕區(qū)域內(nèi)均勻性較高的技術(shù)指標(biāo)，滿足大口徑基片刻蝕的需求。

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