對(duì)于潔凈室的塵源,除了來(lái)自室外大氣的塵粒和進(jìn)入潔凈室的人和物攜帶的灰塵之外,潔凈室內(nèi)的發(fā)塵源主要來(lái)自于潔凈室內(nèi)操作人員,潔凈室的圍護(hù)和潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程的產(chǎn)塵。
1、潔凈室內(nèi)作業(yè)人員的產(chǎn)塵。作業(yè)人員的產(chǎn)塵與所穿的潔凈工作服的材料、型式、著裝情況和作業(yè)人員本身的動(dòng)作有關(guān)。因此,潔凈室內(nèi)的作業(yè)人員必須穿規(guī)定的工作服而且動(dòng)作也要受到一定的限制。
通常情況下,一般電子裝配工藝穿全身型潔凈工作服輕微動(dòng)作時(shí),人員的產(chǎn)塵量為3.5 ~ 5.0×105個(gè)/人·分(≥0.5µm)。是潔凈室內(nèi)的最主要的發(fā)塵源。
2、 潔凈室圍護(hù)和室內(nèi)表面的產(chǎn)塵。隨著潔凈室裝修材料的發(fā)展,耐磨、抗靜電、少產(chǎn)塵的材料出現(xiàn),潔凈室內(nèi)建筑產(chǎn)塵量越來(lái)越小。一般認(rèn)為潔凈室單位建筑面積產(chǎn)塵為3 ~ 5.0×104 /m2·分(≥0.5µm)。可見(jiàn)10平方米建筑產(chǎn)塵只相當(dāng)一個(gè)作業(yè)人員的產(chǎn)塵量。
3、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程的產(chǎn)塵:這一產(chǎn)塵量與設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程本身有直接關(guān)系。不同設(shè)備、不同生產(chǎn)工藝的產(chǎn)塵量差別極大。在日本的資料介紹,一臺(tái)電動(dòng)機(jī)的產(chǎn)塵量大約為4.5 ~ 45×104個(gè)/臺(tái)·分(≥0.5µm)。
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