新型國產(chǎn)陶瓷薄膜真空計(jì)的特點(diǎn)和應(yīng)用

薄膜真空計(jì)是迄今為止唯一得到公認(rèn)的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器，
也是我國唯一具有法定計(jì)量校準(zhǔn)檢定規(guī)程的一種真空度計(jì)量器具（校準(zhǔn)參照規(guī)程：Q/WHJ46-1998標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)程）

電容薄膜真空計(jì)是一種絕壓、全壓測量的真空計(jì)，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化，即產(chǎn)生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)，與氣體成分無關(guān)，即：薄膜真空計(jì)是一種直接測量式的、全壓型的真空計(jì)。

而我們的真空設(shè)備的真空度測量控制常用的真空計(jì)往往是電阻計(jì)、熱偶計(jì)等等間接測量的真空計(jì)，是一種熱傳導(dǎo)型的真空測量方法，簡單一點(diǎn)來說，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強(qiáng)（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法，。由于測量原理上的先天不足，這類真空計(jì)的測量精度、測量穩(wěn)定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計(jì)大1~2個(gè)以上數(shù)量級（誤差大于30%，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是50%），尤其是在低真空段，誤差更大，另外，使用過電阻計(jì)、熱偶計(jì)的度知道，這些儀表測量前還需要零點(diǎn)、滿度校正，怎么能夠用于在線測量控制呢？另外，遇到氫氣等小質(zhì)量的氣體就無法測量了，如果要測，也查表換算，到底真空度是多少？------  猜吧。

不過，它確實(shí)也有它的優(yōu)點(diǎn)的：制造容易、價(jià)格低廉，在許多的要求較低真空設(shè)備上還普遍使用著,……用過電阻計(jì)的都領(lǐng)教過它的煩心。許多人抱怨花了3、4千元買到進(jìn)口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因?yàn)槔贤獾倪@個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測量機(jī)理的真空傳感器。所以選擇真空計(jì)、真空傳感器、首先要看看什么原理、什么類型的，而不是數(shù)字、智能，測量機(jī)理陳舊，再怎么數(shù)字、怎么智能，也于事無補(bǔ)的。

現(xiàn)代真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展，涉及的應(yīng)用范圍越來越廣泛、真空應(yīng)用設(shè)備對儀器儀表的要求越來越高，特別是對測量精度、穩(wěn)定性要求、以及自動控制性能要求也越來越高，這直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果，甚至于成功與否。在精細(xì)化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、高特新材料、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出。
許多新設(shè)備、新工藝、新產(chǎn)品的開發(fā)之所以老是無法實(shí)現(xiàn)預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)和效果，往往就是因?yàn)檎婵諟y控儀表選型不當(dāng)、其實(shí)際的測量控制精度無法達(dá)到設(shè)計(jì)要求所造成的。
當(dāng)然，薄膜真空計(jì)也不是沒有缺點(diǎn)的，首先是價(jià)格高，國內(nèi)一般是5-6千元，量限低的貴些；進(jìn)口則1.6—2.5萬元/只左右；其次，國內(nèi)老式的薄膜規(guī)容易零漂，需要經(jīng)常校正，要求高的經(jīng)常校正。主要是技術(shù)陳舊，國內(nèi)材料科學(xué)相對落后造成的，溫度穩(wěn)定性不好；還有一個(gè)量程跨度小，國內(nèi)的不超過3個(gè)數(shù)量級。第三是國產(chǎn)規(guī)嬌氣，容易壞，有油污進(jìn)去很難清洗，常常要用丙酮，清洗后也會有1/3往往會報(bào)廢，小量程的23會壞。
所以，我們需要有一種具有國產(chǎn)價(jià)格、進(jìn)口品質(zhì)的、使用方便、經(jīng)久耐用薄膜真空計(jì)。緊跟國際先進(jìn)的真空測量新技術(shù)，我們能夠做得到的。
分析國外的薄膜真空計(jì)與我們舊式國產(chǎn)產(chǎn)品的有什么不同呢？一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術(shù)、二是智能儀表技術(shù)。首先是通過大規(guī)模厚膜電路（國內(nèi)有些廠家還是20年前的007運(yùn)放），將薄膜電容測量機(jī)構(gòu)和傳感器調(diào)理電路微型化，做在陶瓷基片上，另外，將智能儀表電路微型化，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬、精度高、體積小；（其典型代表如MKS的622--627、英?？礣CBG250等）

       引進(jìn)國外先進(jìn)核心技術(shù)，采用最新型IC,根據(jù)我國真空設(shè)備配套測控儀表的特點(diǎn)，研制出的陶瓷薄膜真空計(jì)，其測量精度和穩(wěn)定性已經(jīng)完全可以與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美了。

      根據(jù)國內(nèi)設(shè)備的習(xí)慣，控制柜上數(shù)字面板表，還是經(jīng)常使用的，采用專門設(shè)計(jì)的具有真空測控特點(diǎn)的精密二次儀器儀表，借籍于現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的科技成果，有利于提供測量的精度、分辨率、穩(wěn)定性和可靠性，增加智能化的自動控制功能，（可以配接任何一種模擬量、數(shù)字量的接口，比進(jìn)口的薄膜真空計(jì)更靈活、更方便）
實(shí)踐證明，具有現(xiàn)代智能儀表技術(shù)的新型陶瓷薄膜真空計(jì)使用到（環(huán)保能源生物醫(yī)藥常用設(shè)備的）真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機(jī)、真空單晶爐、氣氛真空爐、、真空鍍膜機(jī)等設(shè)備，做真空測量和自動控制帶來極大地方便和性能提高，可以快速升級為智能型的真空應(yīng)用設(shè)備。當(dāng)然，也可以用到科研實(shí)驗(yàn)室、計(jì)量室作為相應(yīng)的真空段的0.1級標(biāo)準(zhǔn)器，陶瓷芯片的優(yōu)異性能使其年穩(wěn)定度達(dá)到0.1%以上；

（筆者80年代初期起即從事生產(chǎn)各類型真空測控儀器儀表，用于真空電爐、真空羅茨泵機(jī)組自動控制的ZKJ-100、90b型真空繼電器用在全國各地，沿用至今）

   30多年來，本單位不斷地開發(fā)新產(chǎn)品，緊跟國際先進(jìn)水平，在多年提供配套服務(wù)過程中，積累了許多技術(shù)方案、成熟經(jīng)驗(yàn)，可提供大家參考。歡迎交流，QQ:1594484895）

如果您在設(shè)備上已經(jīng)使用了進(jìn)口的名牌薄膜計(jì)，
不妨也用一用、試一試VR-208C-510系列薄膜真空計(jì)，（它的優(yōu)越性能可能會使你覺得買老外的有點(diǎn)冤。。。）；

如果您一直在使用電阻計(jì)、熱偶計(jì)、甚至古老的麥?zhǔn)险婵沼?jì)，
那么，相信我們的VR-208C-510系列新型薄膜真空計(jì)一定會給您的工作帶來改觀和驚喜。
 

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